නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3) අධි සංශුද්ධ වායුව
මූලික තොරතුරු
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
මෙම ද්රව්යය කුමක්ද?
නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3) යනු කාමර උෂ්ණත්වයේ සහ වායුගෝලීය පීඩනයේ ඇති අවර්ණ සහ ගන්ධ රහිත වායුවකි. එය මධ්යස්ථ පීඩනය යටතේ ද්රවීකරණය කළ හැක. NF3 සාමාන්‍ය තත්ව යටතේ ස්ථායී වන අතර ඉක්මනින් දිරාපත් නොවේ. කෙසේ වෙතත්, එය අධික උෂ්ණත්වයකට නිරාවරණය වන විට හෝ ඇතැම් උත්ප්රේරක ඉදිරියේ දිරාපත් විය හැක. NF3 වායුගෝලයට මුදා හරින විට ඉහළ ගෝලීය උෂ්ණත්වය ඉහළ යාමේ විභවයක් (GWP) ඇත.
මෙම ද්රව්ය භාවිතා කිරීමට කොහෙද?
ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තයේ පිරිසිදු කිරීමේ කාරකය: අර්ධ සන්නායක, ප්ලාස්මා සංදර්ශක පැනල් (PDPs) සහ අනෙකුත් ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල මතුපිටින් ඔක්සයිඩ් වැනි අවශේෂ අපවිත්‍ර ද්රව්ය ඉවත් කිරීම සඳහා පිරිසිදු කිරීමේ කාරකයක් ලෙස NF3 බහුලව භාවිතා වේ. මෙම මතුපිටට හානි නොකර ඵලදායී ලෙස පිරිසිදු කළ හැකිය.
අර්ධ සන්නායක නිපදවීමේදී වායුව Etching: NF3 අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී Etching වායුවක් ලෙස භාවිතා කරයි. එය ඒකාබද්ධ පරිපථ සෑදීමේදී බහුලව භාවිතා වන ද්රව්ය වන සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් (SiO2) සහ සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් (Si3N4) කැටයම් කිරීමේදී විශේෂයෙන් ඵලදායී වේ.
අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ෆ්ලෝරීන් සංයෝග නිෂ්පාදනය: NF3 යනු විවිධ ෆ්ලෝරීන් අඩංගු සංයෝග නිෂ්පාදනය සඳහා වටිනා ෆ්ලෝරීන් ප්‍රභවයකි. එය fluoropolymers, fluorocarbons සහ විශේෂිත රසායනික ද්රව්ය නිෂ්පාදනය සඳහා පූර්වගාමියා ලෙස භාවිතා කරයි.
පැතලි පැනල් සංදර්ශක නිෂ්පාදනයේදී ප්ලාස්මා උත්පාදනය: ද්‍රව ස්ඵටික සංදර්ශක (LCDs) සහ PDP වැනි පැතලි පැනල් සංදර්ශක නිෂ්පාදනයේදී ප්ලාස්මා නිර්මාණය කිරීමට NF3 අනෙකුත් වායූන් සමඟ භාවිතා කරයි. ප්ලාස්මාව පැනල් නිපදවීමේදී තැන්පත් වීමේ සහ කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන්හි අත්‍යවශ්‍ය වේ.
මෙම ද්රව්ය/නිෂ්පාදනය භාවිතය සඳහා නිශ්චිත යෙදුම් සහ රෙගුලාසි රට, කර්මාන්තය සහ අරමුණ අනුව වෙනස් විය හැකි බව සලකන්න. ඕනෑම යෙදුමක මෙම ද්රව්ය/නිෂ්පාදනය භාවිතා කිරීමට පෙර සැමවිටම ආරක්ෂක මාර්ගෝපදේශ අනුගමනය කරන්න සහ විශේෂඥයෙකුගෙන් උපදෙස් ලබා ගන්න.
